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喷金仪、小型离子溅射仪
型号:JS-1600
离子溅射仪是依据二极(DC)直流溅射原理设计而成的,最简单、可靠、经济的镀膜设备。适用于电镜实验室的扫描电子显微镜(SEM)样品制备,非导体材料实验电极制作。

1.靶(上部电极):材料:金,直径:50mm,厚度:0.1mm 纯度:99.999%

2、真空室:直径:160mm,高:110mm

3.样品台(下部电极):溅射面积:直径:50mm

4.工作真空: 10-1—8×10-2 mbar

5.离子电流表:最大电流:50mA

6.计时器:根据溅射习惯设定单次溅射时间

7.最高电压:-1600DVC

8.机械泵:2升/每秒

9.工作室工作媒介气体:空气或氩气

10.真空气阀: 配有氩气专用进气口和微量充气调节

可连接φ4×2.5mm软管



脚注信息
京ICP备05024068号-3